Станок для проверки перевернутых кристаллов Han’s Laser DSI-LT207

Описани

Используется в отрасли LED для проверки перевёрнутых кристаллов (Flip chip) размером 2-4 дюйма.

Особенности изделия:

• Может измерять кристаллические пластины размером 2 и 4 дюйма; 
• Может измерять и совмещать обработанные резкой и не обработанные кристаллические пластины размеров 2 и 4 дюйма;
• Комплектуется ПЗС-камерой, автоматическим сканированием и позиционированием, что делает поиск и обнаружение дефектов более удобным.
• Фотометрический шар Ульбрихта, опора щупа и ПЗС-камера регулируются, обеспечивается центральное положение кристалликов в оптическом порте приема, гарантируется высокая точность.
• Фотометрический шар Ульбрихта опускается и поднимается посредством моторного привода, имеет удобное регулирование высоты.
• Условия испытаний приведены в таблице, а объекты испытаний могут быть легко конфигурированы.
• Тестовое программное обеспечение  собственной разработки с дальнейшим усовершенствованием.

Параметры оборудования:

• Скорость сканирования: 135мс/чип
• Размеры кристаллов: 6mil×6mil~ 80mil×80mil
• Ось X (ход: 150 мм, максимальная скорость: 100 мм/сек, точность позиционирования: ±5 мкм, коэффициент разрешения: 0,1 мкм);
• Ось Y (ход: 420 мм, максимальная скорость: 100 мм/сек, точность позиционирования: ±5 мкм, коэффициент разрешения: 0,1 мкм);
• Ось Φ (ход: 45°, точность позиционирования: ±5 мкм, коэффициент разрешения: 2 мкм);
• Ось Z1 Z2 (ход: 10 мм, максимальная скорость: 30 мм/сек, точность позиционирования: ±10 мкм, коэффициент разрешения: 2 мкм);
• Фотометрический шар Ульбрихта (диаметр: Φ100мм, диаметра входного оптического отверстия: Φ30мм, высота принимаемого излучения: 6м);

Изображение готового результата: